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山东大学物理与微电子学院科研成果
【更新时间：2008-11-10】【阅读次数：】
已获奖励
1． 氧化物光电薄膜的研究，教育部提名国家自然科学奖，一等奖，张德恒，马 瑾，2003.01。
2． 电子工业中替代ODS清洗剂及清洗技术研究，山东省技术发明奖，二等奖，
李玉香，2002.09。
3． 电子工业中替代ODS清洗剂及清洗技术，教育部提名国家科技进步奖，二等奖，李玉香，2003.01。
4． 宽带隙氧化物透明导电膜的研究，山东省自然科学奖，三等奖，马 瑾，2003.11。
专利技术
02年以来获得授权的发明专利10项：
●一种镓掺杂氧化锌透明导电膜的制备方法，2007 年 专利号： ZL200510043865.7 发明人：马瑾
●自旋极化隧道原子力显微成像方法， 2004 年 专利号：ZL200410023584.0 发明人：韩圣浩
●掺钼氧化锌透明导电薄膜及其制备方法， 2007 年专利号：ZL200610043274.4 发明人： 发明人：韩圣浩
●一种锑掺杂多元氧化物透明导电膜的制备方法，发明专利批号：ZL200410035913.3 2006年 发明人：马瑾
●射频磁控溅射法制备ZnO∶Zr透明导电薄膜的方法， 2007 年专利号：ZL200510043960.7 发明人：韩圣浩;
●“一种用于超大规模集成电路芯片的清洗剂组合物及其制备方法” 专利号：2004年 ZL01115162.5 发明人：曹宝成
●一种水基金属清洗剂组合物 2003年专利号： ZL 01114909.4 发明人：李玉香
●电子工业用玻璃清洗剂组合物， 2005年专利号： ZL 03138910.4，发明人：刘建强
●“一种水基液晶清洗剂组合物”, 2004年, 专利号： ZL
01114908.6 发明人：李玉香
●“一种印制线路板用水基清洗剂组合物”，2004年，专利号：
ZL 01114910.8发明人：李玉香
学术论文
2002年以来发表论文情况：发表SCI、EI收录的论文共计160多篇，平均 27篇/年
Structural properties and photoluminescence of zinc nitridenanowires, Fujian Zong, Honglei Ma, Jin Ma, Wei Du, Xijian Zhang, Hongdi Xiao, and Feng Ji,Chengshan Xue, Appl. Phys. Lett., 87, 233104(2005).
Thermal stability of Schottky contacts on strained AlGaN/GaN heterostructures Zhaojun Lin, Wu Lu, Jaesun Lee, Dongmin Liu Published in Appl. Phys. Lett., (2004), 84 (9), pp.1585-1587
Electron mobility related to scattering caused by the strain variation of AlGaN barrier layer in strained AlGaN/GaN heterostructures Jianzhi Zhao, Zhaojun Lin*, Timothy Corrigan, Zhen Wang, Zhidong You, Zhanguo Wang, Applied Physics letters, (2007), 91, P173507.
Influence of annealed Ohmic contact metals on the polarization of AlGaN barrier layer Zhaojun Lin, Wu Lu, Jaesun Lee, Dongmin Liu Published in Electronics Letters, Vol. 39, Issue 19, (2003), pp. 1412-1414.
Structural and UV photoluminescence properties of single crystalline SnO2 films grown on a-Al2O3 (0001) by MOCVD，Xian-jin Fen，Jin Ma，Fan Yang, Feng Ji, Fujian Zong, Caina Luan ， Solid State Communications 144 (2007) 269–272。
Jin Ma, Xiaotao Hao, Honglei Ma, Yingge Yang, Shulai Huang, Deheng Zhang, Chuanfu Cheng, RF magnetron sputtering SnO2:Sb films deposited on organic substrates, Solid State Communication, 121, 345(2002).
Fujian Zong, Honglei Ma, Chengshan Xue, Huizhao Jin Ma, Feng Ji, Synthesis and thermal stability of Zn3N2 powder, Solid State Communications 132 (2004) 521–525 .
“Etching SiO2 with HF/pyridine-supercritical carbon dioxide solutions and resultant interfacial electronic properties”, Y. X. Li, D. Yang, C.A. Jones, III, J.M. DeSimone, and E.A. Irene, J. Vac. Sci. Technol., B, 25, 1139 (2007).
“A study of the optical and electronic properties of poly (vinylidene fluoride-trifluoroethylene) copolymer thin films”, Y. X. Li, L. Yan, R. P. Shrestha, D. Yang, Z. Ounaies, and E. A. Irene, Thin Solid Films, 513, 283 (2006).
Influence of Ni Schottky contact area on two-dimensional electron-gas sheet carrier concentration of strained AlGaN/GaN heterostructures Zhaojun Lin, Wu Lu Published in Journal of Applied physics, (2006), 99, p014504-1
Structural and optical properties of SnO2 films grown on a-Al2O3(0 0 0 1) by MOCVD, Xianjin Feng, Jin Ma, Fan Yang, Feng Ji, Caina Luan, Honglei Ma, Journal of Crystal Growth 310 (2008) 295–298
Hong-Lei Ma, Ying-Ge Yang, Cheng-Shan Xue, `Hui-Zhao Zhuang, Xiao-Tao Hao, Jin Ma,Structure and luminescence of GaN films by sputtering, Diamond and related materials, 12,1402 (2003).
已完成项目
02年以来承担的项目包括：
国家自然科学基金 13 项，国家重点基础研究发展规划项目（973）2项(参加），总装部项目1项，教育部重点项目1项，教育部博士点基金项目2项，
其它 7 项。
"自旋极化电极OLED制备及光电特性研究” 国家自然科学基金（60576039） 7万元 2006.1－2006.12 ，负责人：韩圣浩
"纳电子运算器材料的表征与性能基础研究” 国家重点基础研究发展规划（973）（2001CB610504） 50万元 2002.1-2006.12，负责人：韩圣浩
“有机发光器件的柔性透明电极制备、微结构和光学性能研究” 国家自然科学基金（60176021） 23万元 2002.1—2004.12“有机发光器件的柔性透明电极制备、微结构和光学性能研究” 国家自然科学基金（60176021） 23万元 2002.1—2004.12，
“柔性衬底有机LED器件研制”国家教育部《高等学校骨干教师资助计划》项目12万， 2000年—2003年，
“透明导电玻璃” 20万， 2001年—2003年山东省计划项目（科技厅）
“有机发光器件柔性透明电极研究” 10 万 2001年-2003年山东省优秀博士基金（科技厅）。
国家自然科学基金光电信息功能材料重大研究计划资助项目：“高质量氧化锡薄膜的制备及其发光性质的研究” ，（2005年1月至2007年12月，24万，编号：90401004）。负责人：马瑾。
国家自然科学基金项目：“有机材料衬底锌锡氧化物复合透明导电膜的 研究” ，（2003年1月至2003年12月，7万，编号：60276044）。负责人：马瑾。
国家自然科学基金项目：“MOCVD 制备的氧化锌薄膜的受激光辐射研究” ，（2001年1月至2003年12月，18万，编号：60076006）。负责人：马瑾。
教育部科学技术研究重点项目：“有机柔性衬底氧化锌、氧化锡透明导电膜”，（2002年1月至2004年12月，20万，编号：重点02165）。负责人：马瑾。
教育部骨干教师资助计划项目：“低温磁控溅射氧化锡透明导电膜的研究” ，（2001年1月至2003年12月，12万）。负责人：马瑾。
国家自然科学基金项目,晶体管结温分布不均匀性测试仪的研制, 2000-2002 ， 55万。负责人：苗庆海。
“军用半导体器件可靠性分析仪” 总装备部 2002年1月至2004年12月，50 万。负责人：苗庆海。
1． 氧化物光电薄膜的研究，教育部提名国家自然科学奖，一等奖，张德恒，马 瑾，2003.01。
2． 电子工业中替代ODS清洗剂及清洗技术研究，山东省技术发明奖，二等奖，
李玉香，2002.09。
3． 电子工业中替代ODS清洗剂及清洗技术，教育部提名国家科技进步奖，二等奖，李玉香，2003.01。
4． 宽带隙氧化物透明导电膜的研究，山东省自然科学奖，三等奖，马 瑾，2003.11。
专利技术
02年以来获得授权的发明专利10项：
●一种镓掺杂氧化锌透明导电膜的制备方法，2007 年 专利号： ZL200510043865.7 发明人：马瑾
●自旋极化隧道原子力显微成像方法， 2004 年 专利号：ZL200410023584.0 发明人：韩圣浩
●掺钼氧化锌透明导电薄膜及其制备方法， 2007 年专利号：ZL200610043274.4 发明人： 发明人：韩圣浩
●一种锑掺杂多元氧化物透明导电膜的制备方法，发明专利批号：ZL200410035913.3 2006年 发明人：马瑾
●射频磁控溅射法制备ZnO∶Zr透明导电薄膜的方法， 2007 年专利号：ZL200510043960.7 发明人：韩圣浩;
●“一种用于超大规模集成电路芯片的清洗剂组合物及其制备方法” 专利号：2004年 ZL01115162.5 发明人：曹宝成
●一种水基金属清洗剂组合物 2003年专利号： ZL 01114909.4 发明人：李玉香
●电子工业用玻璃清洗剂组合物， 2005年专利号： ZL 03138910.4，发明人：刘建强
●“一种水基液晶清洗剂组合物”, 2004年, 专利号： ZL
01114908.6 发明人：李玉香
●“一种印制线路板用水基清洗剂组合物”，2004年，专利号：
ZL 01114910.8发明人：李玉香
学术论文
2002年以来发表论文情况：发表SCI、EI收录的论文共计160多篇，平均 27篇/年
Structural properties and photoluminescence of zinc nitridenanowires, Fujian Zong, Honglei Ma, Jin Ma, Wei Du, Xijian Zhang, Hongdi Xiao, and Feng Ji,Chengshan Xue, Appl. Phys. Lett., 87, 233104(2005).
Thermal stability of Schottky contacts on strained AlGaN/GaN heterostructures Zhaojun Lin, Wu Lu, Jaesun Lee, Dongmin Liu Published in Appl. Phys. Lett., (2004), 84 (9), pp.1585-1587
Electron mobility related to scattering caused by the strain variation of AlGaN barrier layer in strained AlGaN/GaN heterostructures Jianzhi Zhao, Zhaojun Lin*, Timothy Corrigan, Zhen Wang, Zhidong You, Zhanguo Wang, Applied Physics letters, (2007), 91, P173507.
Influence of annealed Ohmic contact metals on the polarization of AlGaN barrier layer Zhaojun Lin, Wu Lu, Jaesun Lee, Dongmin Liu Published in Electronics Letters, Vol. 39, Issue 19, (2003), pp. 1412-1414.
Structural and UV photoluminescence properties of single crystalline SnO2 films grown on a-Al2O3 (0001) by MOCVD，Xian-jin Fen，Jin Ma，Fan Yang, Feng Ji, Fujian Zong, Caina Luan ， Solid State Communications 144 (2007) 269–272。
Jin Ma, Xiaotao Hao, Honglei Ma, Yingge Yang, Shulai Huang, Deheng Zhang, Chuanfu Cheng, RF magnetron sputtering SnO2:Sb films deposited on organic substrates, Solid State Communication, 121, 345(2002).
Fujian Zong, Honglei Ma, Chengshan Xue, Huizhao Jin Ma, Feng Ji, Synthesis and thermal stability of Zn3N2 powder, Solid State Communications 132 (2004) 521–525 .
“Etching SiO2 with HF/pyridine-supercritical carbon dioxide solutions and resultant interfacial electronic properties”, Y. X. Li, D. Yang, C.A. Jones, III, J.M. DeSimone, and E.A. Irene, J. Vac. Sci. Technol., B, 25, 1139 (2007).
“A study of the optical and electronic properties of poly (vinylidene fluoride-trifluoroethylene) copolymer thin films”, Y. X. Li, L. Yan, R. P. Shrestha, D. Yang, Z. Ounaies, and E. A. Irene, Thin Solid Films, 513, 283 (2006).
Influence of Ni Schottky contact area on two-dimensional electron-gas sheet carrier concentration of strained AlGaN/GaN heterostructures Zhaojun Lin, Wu Lu Published in Journal of Applied physics, (2006), 99, p014504-1
Structural and optical properties of SnO2 films grown on a-Al2O3(0 0 0 1) by MOCVD, Xianjin Feng, Jin Ma, Fan Yang, Feng Ji, Caina Luan, Honglei Ma, Journal of Crystal Growth 310 (2008) 295–298
Hong-Lei Ma, Ying-Ge Yang, Cheng-Shan Xue, `Hui-Zhao Zhuang, Xiao-Tao Hao, Jin Ma,Structure and luminescence of GaN films by sputtering, Diamond and related materials, 12,1402 (2003).
已完成项目
02年以来承担的项目包括：
国家自然科学基金 13 项，国家重点基础研究发展规划项目（973）2项(参加），总装部项目1项，教育部重点项目1项，教育部博士点基金项目2项，
其它 7 项。
"自旋极化电极OLED制备及光电特性研究” 国家自然科学基金（60576039） 7万元 2006.1－2006.12 ，负责人：韩圣浩
"纳电子运算器材料的表征与性能基础研究” 国家重点基础研究发展规划（973）（2001CB610504） 50万元 2002.1-2006.12，负责人：韩圣浩
“有机发光器件的柔性透明电极制备、微结构和光学性能研究” 国家自然科学基金（60176021） 23万元 2002.1—2004.12“有机发光器件的柔性透明电极制备、微结构和光学性能研究” 国家自然科学基金（60176021） 23万元 2002.1—2004.12，
“柔性衬底有机LED器件研制”国家教育部《高等学校骨干教师资助计划》项目12万， 2000年—2003年，
“透明导电玻璃” 20万， 2001年—2003年山东省计划项目（科技厅）
“有机发光器件柔性透明电极研究” 10 万 2001年-2003年山东省优秀博士基金（科技厅）。
国家自然科学基金光电信息功能材料重大研究计划资助项目：“高质量氧化锡薄膜的制备及其发光性质的研究” ，（2005年1月至2007年12月，24万，编号：90401004）。负责人：马瑾。
国家自然科学基金项目：“有机材料衬底锌锡氧化物复合透明导电膜的 研究” ，（2003年1月至2003年12月，7万，编号：60276044）。负责人：马瑾。
国家自然科学基金项目：“MOCVD 制备的氧化锌薄膜的受激光辐射研究” ，（2001年1月至2003年12月，18万，编号：60076006）。负责人：马瑾。
教育部科学技术研究重点项目：“有机柔性衬底氧化锌、氧化锡透明导电膜”，（2002年1月至2004年12月，20万，编号：重点02165）。负责人：马瑾。
教育部骨干教师资助计划项目：“低温磁控溅射氧化锡透明导电膜的研究” ，（2001年1月至2003年12月，12万）。负责人：马瑾。
国家自然科学基金项目,晶体管结温分布不均匀性测试仪的研制, 2000-2002 ， 55万。负责人：苗庆海。
“军用半导体器件可靠性分析仪” 总装备部 2002年1月至2004年12月，50 万。负责人：苗庆海。